產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
Taylor Hobson提供了許多儀器專門設(shè)計(jì)用于滿足臺階高度測量的這些*高要求。臺階高度的覆蓋范圍在亞納米至毫米之間，可重復(fù)性在0.1納米以下。
詳情介紹：
臺階高度測量
在許多高科技應(yīng)用中需要對臺階高度進(jìn)行準(zhǔn)確和可重復(fù)測量。Taylor Hobson提供了許多儀器專門設(shè)計(jì)用于滿足臺階高度測量的這些*高要求。臺階高度的覆蓋范圍在亞納米至毫米之間，可重復(fù)性在0.1納米以下。
計(jì)量
三維臺階高度
為表面上兩個(gè)區(qū)域所定義的兩個(gè)平面提供高度差。**個(gè)區(qū)域被定義為參考區(qū)域，軟件將調(diào)整此區(qū)域中的*小二乘平面。然后據(jù)此測量**個(gè)平面。同時(shí)測量的還有平均臺階高度、*大高度和*小高度以及角度差。
二維臺階高度
為蝕刻線或矩形區(qū)域之類的簡單幾何形狀提供臺階高度測量方法。在邊緣暴露的情況下，二維臺階高度還可以用于測量厚度。
ISO 5436-1臺階高度
在嘗試對不同測量儀器所做的臺階高度測量進(jìn)行比較時(shí)，按照標(biāo)準(zhǔn)測量方法進(jìn)行測量非常重要。ISO 5436-1提供了國際公認(rèn)的臺階高度測量方法。上述儀器均支持此標(biāo)準(zhǔn)。
